tala fou

O le tekinolosi tipiina o uaea taimane e taʻua foʻi o le tekinolosi tipiina o le faʻamautuga o le abrasive. O le faʻaaogaina lea o le metotia o le electroplating poʻo le resin bonding o le taimane abrasive e faʻamautu i luga o le uaea uʻamea, o le uaea taimane e faʻatino saʻo i luga o le silicon rod poʻo le silicon ingot e faia ai le oloina, ina ia ausia ai le aafiaga o le tipiina. O le tipiina o uaea taimane e iai uiga o le vave o le tipiina, maualuga le saʻo o le tipiina ma maualalo le leiloa o meafaitino.

I le taimi nei, ua taliaina atoatoa le maketi o le uaea taimane silicon wafer e tasi le tioata, ae ua feagai foi ma le faagasologa o le faalauiloaina, o se tasi o faafitauli masani o le velvet white. I le iloaina o lenei mea, o lenei pepa e taulaʻi i le auala e puipuia ai le faafitauli o le velvet white o le tipiina o uaea taimane monocrystalline silicon wafer.

O le faiga fa'amamāina o le uaea taimane e tipi ai le uaea monocrystalline silicon wafer o le aveeseina lea o le silicon wafer ua tipiina e le masini ili uaea mai le laulau resin, aveese le fasi pa'u, ma fa'amamā le silicon wafer. O masini fa'amamā e masani lava o se masini fa'amamā muamua (masini fa'amamā) ma se masini fa'amamā. O le faiga autū o le fa'amamāina o le masini fa'amamā muamua o le: fafagaina-fa'asusu-fa'asusu-fa'amamā-fa'amamāina ultrasonic-fa'amamā-fufuluina i le vai mama-le lava le fafagaina. O le faiga autū o le fa'amamāina o le masini fa'amamā o le: fafagaina-fufuluina i le vai mama-fufuluina i le vai mama-fufuluina alkali-fufuluina alkali-fufuluina i le vai mama-fufuluina i le vai mama-fufuluina muamua le fa'amago (si'itia malie)-fa'amago-fafaga.

O le mataupu faavae o le faia o le ie veleveti e tasi le tioata

O le monocrystalline silicon wafer o le uiga lea o le anisotropic corrosion o le monocrystalline silicon wafer. O le mataupu faavae o le tali atu o le fua faatatau lea o le tali atu o le vailaʻau:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

O le uiga autū, o le faagasologa o le fausiaina o le suede o le: NaOH solution mo le eseesega o le fua faatatau o le ele o le fogaeleele tioata eseese, (100) le saoasaoa o le ele o le fogaeleele nai lo le (111), o lea (100) i le monocrystalline silicon wafer pe a uma le anisotropic corrosion, ma iu ai ina fausia i luga o le fogaeleele mo le (111) cone e fa itu, o lona uiga o le "pyramid" structure (e pei ona faaalia i le ata 1). A maeʻa ona fausia le fausaga, pe a oo atu le malamalama i le pyramid slope i se tulimanu patino, o le a toe atagia le malamalama i le slope i se isi tulimanu, ma fausia ai se miti lona lua pe sili atu, ma faaitiitia ai le toe atagia i luga o le fogaeleele o le silicon wafer, o lona uiga, o le aafiaga o le mailei malamalama (tagai Ata 2). O le lelei o le tele ma le tutusa o le fausaga o le "pyramid", o le sili atu foi lea ona manino le aafiaga o le mailei, ma o le maualalo foi lea o le emitrate o le fogaeleele o le silicon wafer.

Ata 1: Micromorphology o le monocrystalline silicon wafer pe a uma ona gaosia le alkali

Ata 2: O le mataupu faavae o le mailei malamalama o le fausaga "piramid"

Su'esu'ega o le pa'epa'e o le tioata e tasi

I le fa'aogaina o le microscope eletise i luga o le wafer silicon pa'epa'e, na maua ai e le'i fausia le fausaga pyramid o le wafer pa'epa'e i le vaega, ma e foliga mai o lo'o i ai se vaega o toega "waxy" i luga, ae o le fausaga pyramid o le suede i le vaega pa'epa'e o le wafer silicon lava lea e sili atu ona lelei le fausiaina (tagai i le Ata 3). Afai ei ai ni toega i luga o le fogāeleele o le monocrystalline silicon wafer, o le a i ai le tele o le fausaga "pyramid" o le fogāeleele ma le tutusa o le gaosiga ma le le lava o le aafiaga o le vaega masani, ma mafua ai ona maualuga atu le atagia mai o le fogāeleele velvet nai lo le vaega masani, o le vaega e maualuga le atagia mai pe a fa'atusatusa i le vaega masani i le va'aiga e atagia mai o le pa'epa'e. E pei ona mafai ona va'aia mai le foliga o le vaega pa'epa'e, e le o se foliga masani pe masani i se vaega tele, ae na'o vaega i le lotoifale. E tatau ona fa'apea o mea leaga i le lotoifale i luga o le wafer silicon e le'i fa'amamaina, pe o le tulaga o le fogāeleele o le wafer silicon e mafua mai i le fa'aleagaina lona lua.

Ata 3: Fa'atusatusaga o eseesega o fausaga laiti i totonu o apa silicon pa'epa'e velvet

E sili atu le lamolemole o le fogāeleele o le silicon wafer e tipi ai uaea taimane ma e laʻititi le faʻaleagaina (e pei ona faʻaalia i le Ata 4). Pe a faʻatusatusa i le mortar silicon wafer, o le saoasaoa o le tali atu o le alkali ma le fogāeleele o le silicon wafer e tipi ai uaea taimane e telegese nai lo le monocrystalline silicon wafer e tipi ai le mortar, o lea e sili atu ona manino le aafiaga o toega o le fogāeleele i le aafiaga o le velvet.

Ata 4: (A) Maikokalafi o luga o le sima tipi silicon wafer (B) maikokalafi o luga o le uaea taimane tipi silicon wafer

O le puna autū o totoe o le fogāeleele silicon wafer ua tipiina i le uaea taimane

(1) Fa'amālūlūina: o vaega autū o le fa'amālūlūina o le uaea taimane o le surfactant, dispersant, defamagent ma le vai ma isi vaega. O le vai tipi e sili ona lelei lona fa'atinoga e iai le fa'asusu lelei, fa'asalalauina ma le faigofie ona fa'amamāina. O Surfactants e masani ona iai ni meatotino hydrophilic sili atu, lea e faigofie ona fa'amamāina i le fa'agasologa o le fa'amamāina o le silicon wafer. O le fa'agae'etia pea ma le fa'asalalauina o nei mea fa'aopoopo i totonu o le vai o le a maua ai le tele o foam, ma i'u ai i le fa'aitiitia o le tafe o le coolant, e a'afia ai le fa'atinoga o le fa'amālūlūina, ma fa'afitauli tetele o le foam ma le foam overflow, lea o le a a'afia ai le fa'aaogaina. O le mea lea, e masani ona fa'aaogaina le coolant fa'atasi ma le defoaming agent. Ina ia mautinoa le fa'atinoga o le defoaming, o le silicone ma le polyether masani e masani ona le lelei le hydrophilic. O le solvent i totonu o le vai e matua faigofie lava ona mitiia ma tumau i luga o le silicon wafer i le fa'amamāina mulimuli ane, ma i'u ai i le fa'afitauli o le white spot. Ma e le fetaui lelei ma vaega autū o le vai malulu (cool), o lea la, e tatau ona faia i ni vaega se lua, o vaega autū ma vailaʻau e aveese ai le foam na faʻaopoopoina i le vai, i le faʻagasologa o le faʻaaogaina, e tusa ai ma le tulaga o le foam, e le mafai ona pulea lelei le faʻaaogaina ma le fua o vailaʻau e aveese ai le foam, e faigofie ona faʻatagaina ai le soʻona tele o vailaʻau e aveese ai le anoaming, e mafua ai ona faʻateleina toega o le silicon wafer, e sili atu foʻi ona faigata ona faʻaaogaina, peitaʻi, ona o le tau maualalo o mea mata ma vailaʻau e aveese ai le foam, o lea la, o le tele o vailaʻau malulu i totonu o le atunuʻu e faʻaaogaina uma lenei faiga faʻapitoa; o le isi vailaʻau malulu e faʻaaogaina se vailaʻau fou e aveese ai le foam, e mafai ona fetaui lelei ma vaega autū, e leai ni faʻaopoopoga, e mafai ona pulea lelei ma le fua faʻapitoa lona aofaʻi, e mafai ona puipuia lelei le soʻona faʻaaogaina, e matua faigofie lava ona fai faʻamalositino, faʻatasi ai ma le faiga faʻamamā lelei, e mafai ona pulea ona toega i ni tulaga maualalo tele, i Iapani ma ni nai gaosi oloa i totonu o le atunuʻu e faʻaaogaina lenei faiga faʻapitoa, peitaʻi, ona o lona tau maualuga o mea mata, e le o manino lona lelei tau.

(2) Fa'ata'ita'iga o le kelu ma le resin: i le la'asaga mulimuli o le faiga o le tipiina o le uaea taimane, ua uma ona tipiina muamua le silicon wafer e lata ane i le pito e ulufale mai ai, e le'i tipiina lava le silicon wafer i le pito e alu ese ai, ua amata ona tipiina le uaea taimane ua tipiina muamua i le vaega pa'u ma le resin plate, talu ai o le kelu o le silicon rod ma le resin board o ni oloa epoxy resin, o lona tulaga vaivai e masani lava i le va o le 55 ma le 95℃, afai e maualalo le tulaga vaivai o le vaega pa'u po'o le resin plate, e faigofie ona vevela i le taimi o le tipiina ma mafua ai ona vaivai ma liusuavai, pe a fa'apipi'i i le uaea u'amea ma le silicon wafer, e mafua ai ona fa'aitiitia le gafatia o le laina taimane e tipi ai, pe ua valiina i le resin wafer silicon, pe a fa'apipi'i, e faigata tele ona fufulu ese, o ia fa'aleagaina e masani ona tupu lata ane i le pito o le silicon wafer.

(3) pauta silicon: i le faagasologa o le tipiina o uaea taimane o le a maua ai le tele o le pauta silicon, faatasi ai ma le tipiina, o le a faateleina le maualuga o le paʻu vai malulu o le sima, a lava le tele o le pauta, o le a pipii i luga o le silicon, ma o le tipiina o uaea taimane o le tele ma le lapoʻa o le pauta silicon e faigofie ai ona mitiia i luga o le silicon, ma faigata ai ona faamamaina. O le mea lea, ia mautinoa le faʻaleleia ma le lelei o le vai malulu ma faʻaitiitia le aofaʻi o le pauta i totonu o le vai malulu.

(4) vailaʻau faʻamamā: o le faʻaaogaina o nei gaosi oloa e tipi ai uaea taimane e masani ona faʻaaogaina le tipiina o le sima i le taimi e tasi, e masani ona faʻaaogaina le tipiina o le sima muamua, le faʻagasologa o le faʻamamāina ma le vailaʻau faʻamamā, ma isi mea faapena, o le tekinolosi tipiina o uaea taimane e tasi mai le masini tipi, e fausia ai se seti atoa o laina, o le tipiina o le coolant ma le sima e iai le eseesega tele, o lea o le faʻagasologa o le faʻamamāina talafeagai, le fua faʻatatau o le vailaʻau faʻamamā, le fua faʻatatau, ma isi mea faapena e tatau ona faia mo le tipiina o uaea taimane e faia ai le fetuunaiga talafeagai. O le vailaʻau faʻamamā o se vaega taua, o le fua faʻatatau muamua o le vailaʻau faʻamamā o le surfactant, o le alkalinity e le talafeagai mo le faʻamamāina o uaea taimane e tipi ai le silicon wafer, e tatau ona mo le luga o le uaea taimane silicon wafer, o le tuufaatasiga ma toega o luga o le vailaʻau faʻamamā faʻatatau, ma ave faʻatasi ma le faʻagasologa o le faʻamamāina. E pei ona taʻua i luga, e le manaʻomia le tuufaatasiga o le vailaʻau faʻamamā i le tipiina o le sima.

(5) Vai: tipiina o uaea taimane, fufulu muamua ma fa'amamāina le vai tafe e iai mea leaga, e mafai ona pipii i luga o le silicon wafer.

Fa'aitiitia le fa'afitauli o le fa'apa'epa'e o lauulu velvet

(1) Ina ia faʻaaogaina le vai malulu e lelei lona sosolo, e manaʻomia foʻi ona faʻaaoga le vailaʻau e faʻaitiitia ai le foam e faʻaitiitia ai le toega o vaega o le vai malulu i luga o le silicon wafer;

(2) Faaaoga le kelu talafeagai ma le ipu resin e faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o le silicon wafer;

(3) E fa'afefiloi le vai malulu i le vai mama e fa'amautinoa ai e leai ni mea leaga e faigofie ona totoe i le vai ua fa'aaogaina;

(4) Mo le fogāeleele o le uaea taimane ua tipiina i le silicon wafer, fa'aaoga se vaila'au fa'amamā e sili atu ona talafeagai mo le gaioiga ma le fa'amamāina;

(5) Fa'aaoga le faiga toe fa'aleleia o le diamond line coolant i luga ole laiga e fa'aitiitia ai le aofa'i o le pauta silicon i le taimi o le tipiina, ina ia mafai ai ona pulea lelei toega o le pauta silicon i luga o le fogāeleele silicon o le wafer. I le taimi lava e tasi, e mafai fo'i ona fa'aleleia atili ai le vevela o le vai, le tafe ma le taimi i le taimi muamua e fufulu ai, ina ia mautinoa ua fufuluina le pauta silicon i le taimi atofaina.

(6) O le taimi lava e tuu ai le silicon wafer i luga o le laulau e faamama ai, e tatau ona togafitia loa, ma tausia le silicon wafer ia susu i le taimi atoa o le faamamaina.

(7) E taofia e le silicon wafer le susu o le fogāeleele i le faagasologa o le aveeseina o le gum, ma e lē mafai ona mago faalenatura. (8) I le faagasologa o le faamamaina o le silicon wafer, e mafai ona faaitiitia le taimi e aliali mai ai i le ea i le mea e gata ai ina ia taofia ai le tupu mai o fugalaau i luga o le silicon wafer.

(9) E le tatau i le aufaigaluega faamama ona pa'i sa'o i luga o le silicon wafer i le taimi atoa o le faamamaina, ma e tatau ona ofuina ni totigilima pa'u, ina ia 'aua ne'i maua ai ni lolomi tamatamailima.

(10) I le fa'asinomaga [2], o le pito o le maa e fa'aaogaina le fa'agasologa o le fa'amamaina o le hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH e tusa ai ma le fua fa'atatau o le voluma o le 1:26 (3% NaOH solution), lea e mafai ona fa'aitiitia lelei ai le tupu mai o le fa'afitauli. O lona mataupu faavae e tutusa ma le fa'amamāina o le SC1 (e masani ona ta'ua o le vai 1) o se semiconductor silicon wafer. O lona faiga autu: o le ata fa'a'okesaita i luga o le luga o le silicon wafer e fausia e le fa'a'okesaita o le H2O2, lea e fa'aleagaina e le NaOH, ma o le fa'a'okesaita ma le ele e tupu soo. O le mea lea, o vaega e pipii i le pauta silicon, resin, u'amea, ma isi) e pa'u'ū fo'i i totonu o le vai fa'amamā fa'atasi ai ma le vaega ele; ona o le fa'a'okesaita o le H2O2, o mea ola i luga o le luga o le wafer e fa'aleagaina i le CO2, H2O ma aveese. O lenei faiga o le fa'amamaina ua fa'aaogaina e le au gaosi silicon wafer lenei faiga e fa'agasolo ai le fa'amamaina o le uaea taimane e tipi ai le monocrystalline silicon wafer, silicon wafer i totonu o le atunu'u ma Taiwan ma isi kamupani gaosi maa e fa'aaogaina tele ai fa'afitauli o le velvet white. E iai fo'i kamupani gaosi maa ua fa'aaogaina se faiga fa'amamā muamua o le velvet, e pulea lelei ai fo'i le foliga mai o le velvet white. E mafai ona iloa atu o lenei faiga fa'amamāina ua fa'aopoopoina i le faiga fa'amamāina o le silicon wafer e aveese ai toega o le silicon wafer ina ia mafai ai ona fo'ia lelei le fa'afitauli o lauulu sinasina i le pito o le maa.

fa'ai'uga

I le taimi nei, o le tipiina o uaea taimane ua avea ma tekinolosi autu o le faagasologa i le matata o le tipiina o le tioata e tasi, ae o le faagasologa o le faalauiloaina o le faafitauli o le faia o le velvet paʻepaʻe ua avea ma faafitauli i le silicon wafer ma le au gaosi maa, ma mafua ai ona tetee atu le au gaosi maa i le tipiina o uaea taimane o le silicon wafer. E ala i le auiliiliga faatusatusa o le vaega paʻepaʻe, e mafua tele lava i le toega i luga o le silicon wafer. Ina ia puipuia lelei le faafitauli o le silicon wafer i totonu o le sela, o lenei pepa e iloiloina ai punaoa e ono mafua ai le faaleagaina o le luga o le silicon wafer, faapea foi ma fautuaga ma auala e faaleleia ai i le gaosiga. E tusa ai ma le aofaiga, itulagi ma foliga o togitogi papaʻe, e mafai ona iloiloina ma faaleleia mafuaaga. E fautuaina faapitoa le faaaogaina o le hydrogen peroxide + alkali cleaning process. O le poto masani manuia ua faamaonia ai e mafai ona puipuia lelei le faafitauli o le tipiina o uaea taimane o le silicon wafer e faia ai le velvet whitening, mo le faasino i ai o tagata lautele i totonu o le alamanuia ma le au gaosi oloa.