O le tekinolosi tipi uaea taimane ua lauiloa foi o le tuufaatasia o tekinolosi tipi abrasive.O le faʻaaogaina o le electroplating poʻo le resin faʻapipiʻi metotia o taimane abrasive faʻamalosia i luga o le uaea uamea, uaea taimane galue saʻo i luga o le luga ole tootoo poʻo le silicon ingot e gaosia ai le olo, e ausia ai le aafiaga o le tipiina.O le tipiina o le uaea taimane o lo'o i ai uiga o le saosaoa o le tipi vave, maualuga le sao o le tipi ma le maualalo o meafaitino.
I le taimi nei, o le maketi tioata e tasi mo uaea taimane tipi silicon wafer ua talia atoatoa, ae ua feagai foi i le faagasologa o le faalauiloaina, faatasi ai ma veveti paepae o le faafitauli sili ona taatele.I le vaaiga i lenei mea, o lenei pepa e taulaʻi i le auala e puipuia ai uaea taimane tipiina monocrystalline silicon wafer vevelvet faafitauli paʻepaʻe.
O le fa'amamāina o le uaea taimane e tipiina monocrystalline silicon wafer o le aveese lea o le masi fa'asili kasa ua tipi e le uaea va'ai masini meafaigaluega mai le ipu resini, aveese le pa'u pa'u, ma fa'amama le kasa wafer.O mea fa'amama e masani lava o se masini fa'amama (degumming machine) ma se masini fa'amama.O le faiga fa'amama autu o le masini muamua fa'amama o le: fafaga-sulu-sulu-ultrasonic fufulu-degumming-vai mama fufulu-le-lefeeding.O le faiga fa'amama autu o le masini fa'amama o le: fafaga-vai mama vaimama-vai mama fufulu-alkali fufulu-alkali fufulu-vai mama vai-vai mama fufulu-mua'i fa'amama (sii lemu) -mamago-fafaga.
O le mataupu faavae o le faia o veveti tioata tasi
Monocrystalline silicon wafer o le uiga o le anisotropic corrosion o monocrystalline silicon wafer.O le ta'iala o le tali atu o le fa'atusa fa'a-kemikolo lea:
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑
O le mea moni, o le faiga o le suede o le: fofo NaOH mo fua faatatau corrosion eseese o luga tioata eseese, (100) i luga o le saosaoa corrosion nai lo (111), o lea (100) i le monocrystalline silicon wafer ina ua uma anisotropic corrosion, iu ina faia i luga o le fogaeleele mo (111) cone fa itu, e taʻua o le "pyramid" fausaga (e pei ona faʻaalia i le ata 1).A maeʻa ona fausia le fausaga, pe a oʻo mai le malamalama i le pyramid slope i se tasi Angle, o le a faʻaalia le malamalama i le malifa i se isi Angle, faʻatupuina se lua pe sili atu absorption, ma faʻaitiitia ai le faʻaalia i luga o le pito i luga o le fafie silicon. , o lona uiga, le aafiaga mailei malamalama (tagai Ata 2).O le sili atu o le tele ma le tutusa o le fausaga o le "pyramid", o le sili atu ona manino le aafiaga o le mailei, ma le maualalo o le emitrate luga o le wafer silicon.
Ata 1: Micromorphology o monocrystalline silicon wafer ina ua uma le gaosiga alkali
Ata 2: Le mataupu faavae mailei malamalama o le fausaga o le "pyramid".
Iloiloga o le pa'epa'e tioata tasi
E ala i le suʻesuʻeina o le microscope electron i luga o le paʻepaʻe silicon wafer, na maua ai o le pyramid microstructure o le wafer paʻepaʻe i totonu o le eria e leʻi faia, ma foliga mai o loʻo i ai se vaega o le "waxy" toega, ae o le pyramid structure o le suede. i le vaega paʻepaʻe o le silicon wafer tutusa sa sili atu ona lelei (vaai Ata 3).Afai o loʻo i ai toega i luga o le mata o le monocrystalline silicon wafer, o le a iai le vaega totoe o le "pyramid" le tele o le fausaga ma le faʻatupuina tutusa ma le aʻafiaga o le nofoaga masani e le lava, ma mafua ai ona maualuga le maualuga o le faʻaogaina o luga o le veleveti nai lo le nofoaga masani, le vaega e maualuga reflectivity faatusatusa i le vaega masani i le ata vaaia e pei o paepae.E pei ona mafai ona vaʻaia mai le tufatufaina o foliga o le vaega paʻepaʻe, e le masani pe masani ona foliga i se vaega tele, ae naʻo totonu o le lotoifale.E tatau ona le fa'amamāina mea fa'apitonu'u i luga o le fa'a'ele'ele silikoni, po'o le tulaga i luga o le fa'ama'i silicon e mafua mai i le fa'aleagaina lona lua.
Ata 3: Fa'atusatusaga o eseesega fa'apitonu'u fa'apitonu'u i velvet white silicon wafers
O le pito i luga ole uaea taimane e tipiina le silicon wafer e sili atu ona lamolemole ma e laʻititi le leaga (e pei ona faʻaalia i le Ata 4).Pe a fa'atusatusa i le fa'ama'i fa'asolo, o le saosaoa o le alkali ma le uaea taimane o le tipiina o le silicon wafer e sili atu lemu nai lo le fa'ameamea o le monocrystalline silicon wafer, o lea e sili atu ona manino le aafiaga o toega i luga o le veveti.
Ata 4: (A) Ata 4: (A) masini fa'a'ele'ele o le sima ua tipi silicon wafer (B) micrograph luga o le uaea taimane tipi silicon wafer.
O le puna autu o totoe o le uaea taimane-oti silikoni mafi luga
(1) Coolant: o vaega autu o le uaea taimane tipi coolant o surfactant, dispersant, defamagent ma vai ma isi vaega.O le tipiina o le vai ma le faʻatinoga sili ona lelei o loʻo i ai le faʻamalolo lelei, faʻasalalau ma faigofie faʻamamaina gafatia.Surfactants e masani lava ona sili atu meatotino hydrophilic, lea e faigofie ona fufulu ese i le faagasologa o le faamamaina o le kasa.O le faʻaauau pea o le faʻafefeteina ma le taʻavale o nei mea faaopoopo i totonu o le vai o le a maua ai le tele o foam, e mafua ai le faʻaitiitia o le tafe o le coolant, e aʻafia ai le faʻaleleia o le faʻatinoga, ma le faʻalavelave matuia ma e oʻo lava i faʻafitauli faʻafefe, lea o le a matua aʻafia ai le faʻaaogaina.O le mea lea, o le coolant e masani ona faʻaaogaina ma le mea faʻafefe.Ina ia faʻamautinoa le faʻaogaina o le faʻaogaina, o le silicone masani ma le polyether e masani ona leaga le hydrophilic.O le solvent i totonu o le vai e matua faigofie lava ona faʻapipiʻi ma tumau i luga o le pito i luga ole paʻu kaka i le faʻamamaina mulimuli ane, e mafua ai le faʻafitauli o le paʻepaʻe.Ma e le fetaui lelei ma vaega autu o le coolant, O le mea lea, e tatau ona faia i ni vaega se lua, vaega autu ma defoaming sui sa faaopoopo i le vai, I le faagasologa o le faaaogaina, e tusa ai ma le tulaga foam, Le mafai ona quantitatively pulea le faʻaogaina ma vailaʻau o vailaʻau antifoam, E mafai ona faigofie ona faʻatagaina mo se faʻatuputeleina o mea faʻamaʻi, e taʻitaʻia ai le faʻateleina o toega o le silicon wafer surface, E sili atu foʻi le faʻalavelave e faʻagaioia, Ae ui i lea, ona o le tau maualalo o mea mataʻutia ma faʻamaʻi faʻafefe. meafaitino, O le mea lea, o le tele o le coolant i totonu o aiga e faaaogaina uma lenei faiga faiga;O le isi coolant e faʻaaogaina se sui fou e faʻafefeteina, E mafai ona fetaui lelei ma vaega autu, Leai se faʻaopoopoga, E mafai ona pulea lelei ma faʻatusatusa lona aofaʻi, E mafai ona puipuia lelei le faʻaaogaina tele, O faʻamalositino e faigofie tele ona fai, Faatasi ai ma le faʻamamaina lelei o le faagasologa, toega e mafai ona pulea i tulaga maualalo, I Iapani ma nai fale gaosi oloa faʻaaogaina lenei faiga faʻavae, Ae ui i lea, ona o le maualuga o le tau o meafaitino, e le o manino lona tau.
(2) Kelu ma le resin version: i le vaega mulimuli o le faiga o le tipiina o uaea taimane, O le kasa masima e lata ane i le pito o loʻo sau na tipi muamua, O le kasa masima i le pito i fafo e leʻi tipiina, O le vave tipi taimane ua amata ona tipi le uaea i le pa'u pa'u ma le resin ipu, Talu ai o le kelu tootoo silicon ma le resin laupapa o oloa uma epoxy resin, O lona tulaga faamalulu e masani lava i le va o le 55 ma le 95 ℃, Afai o le vaega faamaluluina o le pa'u pa'u po o le resini. e maualalo le ipu, e mafai ona faigofie ona vevela i le faagasologa o le tipiina ma mafua ai ona vaivai ma liusuavai, Faʻapipiʻi i le uaea uʻamea ma le luga o le silicon wafer surface, Mafua ai ona faʻaitiitia le gafatia o le laina taimane, Poʻo le faʻapipiʻiina o le silicon wafers e maua ma pisia i resini, A pipii loa, e matua faigata lava ona fufulu ese, O ia mea leaga e tele lava ina tupu i tafatafa ane o le pito o le fafie silikoni.
(3) paʻu silicon: i le faagasologa o le tipiina o le uaea taimane o le a maua ai le tele o le paʻu silikoni, faatasi ai ma le tipiina, o le a sili atu ma sili atu le maualuga o le paʻu paʻu paʻu, pe a lava le paʻu, o le a pipii i luga o le silicon, ma uaea taimane tipiina o le silikon pauta tele ma le tele e taitai atu i lona faigofie adsorption i luga o le silicon luga, e faigata ona faamama.O le mea lea, ia mautinoa le faʻafouina ma le lelei o le faʻamaʻa ma faʻaititia le pauta o loʻo i totonu o le faʻamaʻa.
(4) fa'amama fa'amama: o le fa'aogaina o le uaea taimane i le taimi nei e masani ona fa'aaogaina le sima i le taimi lava e tasi, e masani ona fa'aogaina le tipiina o le paluga muamua, fa'amama fa'amama ma le fa'amama fa'amama, ma isi, fa'agata taimane tasi tekinolosi tipi mai le masini tipi, fai se seti atoatoa o le laina, coolant ma sima tipi e tele se eseesega, o lea o le faagasologa o le faamamaina talafeagai, vailaau vailaau faamamaina, fua, ma isi e tatau ona mo le tipi uaea taimane faia le fetuunaiga talafeagai.Fa'amamāina sui o se itu taua, o le uluai su'esu'ega fa'amama fua fa'atatau, alkalinity e le talafeagai mo le fa'amama uaea taimane tipi silicon wafer, e tatau ona mo le pito i luga o le uaea taimane masi fa'asili kakoni, o le tuufaatasiga ma luga o toega o le fa'amana'omia sooupu, ma ave ma le faiga o le faamamaina.E pei ona taʻua i luga, e le manaʻomia le tuʻufaʻatasia o le mea faʻafefete i le tipiina o sima.
(5) Suavai: tipi uaea taimane, muai fufuluina ma le faamamaina o le tafe o le vai o loʻo i ai mea leaga, e mafai ona faʻapipiʻi i luga o le faʻamaʻi silikoni.
Fa'aitiitia le fa'afitauli o le fa'asinasinaina o lauulu veveti e foliga mai o fautuaga
(1) Le faʻaaogaina o le faʻamaʻa ma le taʻapeina lelei, ma e manaʻomia le faʻamaluluina e faʻaaoga ai le mea e faʻaitiitia ai mea e faʻaitiitia ai le toega o vaega faʻafefe i luga o le faʻamaʻi faʻamaʻi;
(2) Fa'aaoga le kelu talafeagai ma le ipu resini e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le fa'a'ofu'ofu silikoni;
(3) E fa'afefete le fa'alili i le vai mama ina ia mautinoa e leai ni mea leaga e totoe i totonu o le vai fa'aaoga;
(4) Mo le pito i luga ole uaea taimane tipi silikoni wafer, fa'aoga le gaioiga ma le fa'amamāina o mea e sili atu ona talafeagai mo le fa'amama;
(5) Fa'aaoga le laina taimane coolant faiga toe fa'aleleia i luga o le initaneti e fa'aitiitia ai mea o lo'o i totonu o le pa'u silikoni i le fa'agasologa o le tipiina, ina ia mafai ai ona pulea lelei le toega o le pa'u silicon i luga o le fa'atosina o le kasa.I le taimi lava e tasi, e mafai foi ona faʻateleina le faʻaleleia atili o le vevela o le vai, tafe ma le taimi i le muaʻi fufuluina, ina ia mautinoa o loʻo fufulu le paʻu silicon i le taimi.
(6) O le taimi lava e tuʻu ai le fafie silikoni i luga o le laulau faʻamamā, e tatau ona togafitia vave, ma faʻasusu le suauʻu kulikoni i le faagasologa atoa o le faamamaina.
(7) O le mea'ai masima silicone tausia susu susu i le faagasologa o le degumming, ma e le mafai ona mago faalenatura.(8) I le faʻamamaina o le faʻamalo o le silicon wafer, o le taimi e faʻaalia i le ea e mafai ona faʻaitiitia i le mamao e mafai ai e puipuia ai le gaosiga o fugalaau i luga o le faʻamalo o le silicon wafer.
(9) E le tatau i le aufaigaluega fa'amamā ona fa'afeso'ota'i sa'o le pito i luga o le fa'amea fa'asili i le taimi atoa o le fa'amamāina, ma e tatau ona fa'aofuina totigilima pa'u, ina ia aua ne'i maua le lolomi o tamatamai lima.
(10) I le faʻamatalaga [2], o le pito o le maa e faʻaaogaina ai le hydrogen peroxyide H2O2 + alkali NaOH faʻamamaina e tusa ai ma le fua o le voluma o le 1:26 (3% NaOH solution), lea e mafai ona faʻaitiitia ai le faʻalavelave.O lona fa'avae e tutusa ma le SC1 fa'amama vaifofo (e masani ona ta'ua o le vai 1) o se semiconductor silicon wafer.O lona faiga autu: o le oxidation ata i luga o le silicon wafer surface e faia e le oxidation o le H2O2, lea e corroded e NaOH, ma le oxidation ma corrosion e tupu soo.O le mea lea, o mea faʻapipiʻi faʻapipiʻi i le paʻu silicon, resin, uʻamea, ma isi mea) e paʻu foi i totonu o le vai faʻamamaina faʻatasi ai ma le faʻafefeteina;ona o le faʻamaʻiina o le H2O2, o mea faʻalaʻau i luga o le wafer surface e faʻaleagaina i le CO2, H2O ma aveese.O lenei faagasologa o le faamamaina ua gaosi oloa ma'a ma'a fa'aaoga lenei faiga e fa'amama ai le uaea taimane tipiina monocrystalline silicon wafer, fa'ama'i kasa i totonu o le atunu'u ma Taiuani ma isi tagata gaosi ma'a fa'aaogaina fa'asea fa'afitauli pa'epa'e veveti.O lo'o i ai fo'i tagata gaosi ma'a na fa'aogaina le fa'amama fa'ameamea muamua, fa'apea fo'i le pulea lelei o foliga o le veveti pa'epa'e.E mafai ona vaʻaia o lenei faiga faʻamama e faʻaopoopoina i le faʻamamaina o le faʻamaʻi faʻamaʻi silicon e aveese ai le toega o le silicon wafer ina ia mafai ai ona foia lelei le faafitauli o le lauulu paʻepaʻe i le pito o le maa.
faaiuga
I le taimi nei, o le tipiina o uaea taimane ua avea ma tekinolosi faʻagasologa autu i le fanua o le tipi tioata tasi, ae i le faagasologa o le faʻalauiloaina o le faʻafitauli o le faia o le paʻepaʻe veveti, o loʻo faʻalavelaveina ai le kasa maa maa, e taʻitaʻia ai le gaosiga o le maa i le uaea taimane tipi le kaika. wafer ei ai sina tetee.E ala i le faʻatusatusaga o suʻesuʻega o le vaega paʻepaʻe, e mafua mai i le toega i luga o le faʻamalo o le silicon wafer.Ina ia sili atu le puipuia o le faʻafitauli o le silicon wafer i totonu o le sela, o lenei pepa e suʻesuʻe ai faʻapogai o le filogia o luga o le silicon wafer, faʻapea foʻi ma fautuaga faʻaleleia ma fua i le gaosiga.E tusa ai ma le numera, itulagi ma foliga o lanu paʻepaʻe, e mafai ona suʻesuʻeina ma faʻaleleia mafuaʻaga.E sili ona fautuaina e faʻaaoga le hydrogen peroxyide + alkali faʻamamaina faiga.O le aafiaga faamanuiaina ua faamaonia e mafai ona puipuia lelei le faafitauli o le uaea taimane tipi kasa wafer faia veveti whitening, mo le faasinomaga o le insiders alamanuia lautele ma gaosi.
Taimi meli: Me-30-2024